JEOL Ltd는 2023년 2월 1일에 FIB-SEM 시스템 ‘JIB-PS500i’를 출시한다고 발표했다.

첨단 소재와 점점 더 복잡해지는 공정이 적용된 정교한 구조를 갖고 있는 형태 관찰 및 원소 분석과 같은 평가 기술에는 더 높은 해상도와 정밀도가 요구된다. 배터리 및 소재 분야뿐 아니라 반도체 산업에서 투과전자현미경(TEM)에 사용할 샘플을 준비하는 데는 ‘더 높은 정밀도’와 ‘더 얇은 샘플’이 필요하다.

이 제품은 그런 요구를 만족시키기 위해 높은 정확도의 처리 능력을 가진 FIB(집속이온빈) 시스템과 고해상도의 SEM(주사전자현미경)을 결합한 시스템이다.

주요 특징

1. FIB 컬럼을 사용하면 최대 100nA의 대전류 Ga 이온 빔으로 처리할 수 있다. 고전류 처리는 특히 넓은 면적에 대한 이미징 및 분석을 위한 단면 샘플을 준비하는 데 효과적이다. 뿐만 아니라 FIB 컬럼은 더 짧은 작동 거리로 설정돼 있다. 새로 개발된 전원공급장치와 함께 낮은 가속 전압에서 크게 개선된 처리 성능을 갖추게 됐다.

2. 새로 개발된 원추형 렌즈 시스템은 SEM 컬럼에 내장돼 낮은 가속 전압에서 이미지 해상도를 크게 향상한다. 이 뛰어난 이미징 기능은 SEM을 사용해 박판 표본의 끝점 절삭 상태를 확인하는 데 매우 유용하다.

3. JIB-PS500i에는 큰 표본실과 새로 개발된 표본대를 적용해 표본대 이동 범위를 늘렸기 때문에 큰 표본을 사용할 수 있다.

뿐만 아니라 90도 기울인 표본대와 함께 사용할 수 있도록 새로 개발된 STEM 검출기로 TEM 표본 준비부터 STEM 관찰까지 유연하게 전환할 수 있다.

4. GUI 작동에는 JSM-IT800 고해상도 주사전자현미경 시리즈에 성공적으로 도입된 바 있는 ‘SEM 센터’를 채용해 EDS 분석을 완전 통합할 수 있다.

5. 이중 틸트 카트리지와 전용 TEM 홀더를 사용하면 보다 정확한 정렬이 가능하고 TEM과 FIB 사이의 표본 전달을 더욱 쉽게 할 수 있다.